Разработчик российского литографа создаст суверенный электронный микроскоп на замену Hitachi

Дата публикации: 06-08-2026 14:38:00

Зеленоградский нанотехнологический центр, создавший литограф на 350 нм, разработает
отечественный сканирующий электронный микроскоп. Оборудование для контроля
чипов должно полностью заместить поставки из Японии, которые заблокированы
санкциями.

Основное содержимое страницы с новостью.

Зеленоградский нанотехнологический центр, создавший литограф на 350 нм, разработает отечественный сканирующий электронный микроскоп. Оборудование для контроля чипов должно полностью заместить поставки из Японии, которые заблокированы санкциями.

Контракт с ЗНТЦ

Как выяснил CNews, исполнителем контракта на создание промышленно-ориентированного сканирующего электронного микроскопа для контроля чипов стал АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ).

Контракт на ОКР шифр «Инспектор» был заключен 6 июля 2026 г. между Минпромторгом и АО «ЗНТЦ». Сумма его составила 2,37 млрд руб. Цена снизилась всего на 500 тыс. руб. (менее 0,1%), следует из портала госзакупок.

По итогам конкурса была подана только одна заявка — от ЗНТЦ. Конкурс признан несостоявшимся, контракт заключен с единственным поставщиком.

Работы должны быть завершены до 30 июня 2030 г.

Что надо разработать

«ЗНТЦ» должен разработать промышленно-ориентированную установку сканирующего электронного измерительного микроскопа (CD-SEM) для контроля полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец изготавливается в исполнении для пластин 200 мм.

Оборудование предназначено для неразрушающего контроля и измерения критических размеров элементов топологического рисунка на поверхности кремниевых пластин — ширины линий, диаметров контактных отверстий, расстояний между элементами периодических структур и шероховатости края линии.

Функциональными аналогами разрабатываемого оборудования выступают японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию заблокированы санкциями. Прямых отечественных аналогов не существует.

Главные мифы о миграции виртуальной инфраструктуры

Критические комплектующие: электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение — должны быть отечественного производства. Применение импортных комплектующих допускается только по согласованию с заказчиком.

Согласно техническому заданию, исполнитель также должен провести сравнение разрабатываемой установки с лучшими зарубежными аналогами. Наработка на отказ должна составлять не менее 1000 часов, срок службы — не менее 10 лет.

Сложно ли это?

«CD-SEM — один из наиболее сложных видов оборудования в микроэлектронике, — рассказал CNewsруководитель проектов практики «Промышленность и технологии» Strategy Partners Александр Михайлов. — При этом важно понимать, что техническое задание предусматривает создание опытного образца, а не запуск серийного производства. Переход к серийному выпуску потребует многократно больших инвестиций, дополнительных лет разработки и создания полноценной производственной базы».По его словам, даже для разработки опытного образца заявленные сроки и бюджет выглядят достаточно сжатыми, если только у исполнителей уже сегодня нет существенного технологического задела и определенной выстроенной кооперации. «Для сравнения: стоимость одной новой единицы продукции производства Hitachi составляет несколько миллионов долларов, — продолжает Михайлов. — Поэтому предусмотренный бюджет ОКР можно считать достаточным для создания работоспособного аналога, однако его едва ли хватит на полную локализацию всех компонентов и технологий».

Электронный микроскоп в России возможно создать за четыре года и за такие деньги, считает другой собеседник CNews среди производителей оборудования для микроэлектроники. По его словам, российских комплектующих для такого оборудования нет и их придется разрабатывать почти с нуля.

Чем известен ЗНТЦ

АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» — российский разработчик и производитель микроэлектроники, а также оборудования для ее создания.

ЗНТЦ уже создал литограф с разрешением 350 нм, который был передан «Отраслевым решениям» (входит в ГК «Элемент»).

Кроме того, как ранее писал CNews, ЗНТЦ разработал установку электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм для безмасковой литографии — изготовления фотошаблонов и формирования рисунка на кремниевых и других подложках без использования маски. Два опытных образца уже проходят комплекс испытаний.

• Первый в России ИТ-маркетплейс CNewsMarket для Вашего бизнеса. С ценами на ИТ-услуги от сотен поставщиков

Схожие новости

#	Наименование новости	Тональность	Информативность	Дата публикации
1	Разработчик российского литографа создаст суверенный электронный микроскоп на замену Hitachi	0	10.95	06-08-2026
2	В России создали литограф для 150-нанометровых чипов	5	7	20-07-2026
3	В России создали суверенную установку электронно-лучевой литографии для выпуска чипов	0	7	20-07-2026
4	В России создали суверенную установку электронно-лучевой литографии для выпуска чипов	0	7	20-07-2026
5	В России тестируют 150-нм литограф АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) ...	0	6	21-07-2026
6	В России создали проект многолучевого литографа — отечественная разработка ускорит выпуск чипов	0	7.74	06-08-2026
7	В России создана технология многолучевой литографии, которая увеличит производительность при выпуске чипов примерно в 3000 раз	0	8.77	05-08-2026
8	В России создали проект многолучевого литографа — отечественная разработка ускорит выпуск чипов	0	4.9	06-08-2026
9	МФТИ: безмасочный литограф резко ускорит развитие биотехнологий	0	0	11-12-2025

Классификация: Наука. Схожих патентов: 0. Схожих новостей: 9. Тональность: 0. Информативность: 10.95. Источник: www.cnews.ru.